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Installation und Bedienungs-Handbuch
X-TMF-SLA5800-MFC-ger
Artikel-Nummer: 541B027AAJ
Juni, 2010
Abbildung 1-2 Allgemeine Verkabelung
Abbildung 1-1 Alarmausgang mit Open Collector
Schnelles Ansprechverhalten (Fast response)
Die Kurven in Abbildung 1-3 zeigen das Ausgangssignal des
Massedurchflussreglers und den tatsächlichen (Übergangs-) Durchfluss
bis zum stabilen Zustand, wenn der Gasdurchfluss in die Prozesskammer
eintritt – bei einem abrupten Sollwertsprung.
Brooks Geräte verfügen auch über eine adaptive (optimierte) PID-
Regelung, einschließlich schneller Ansprechzeit und linearer
Regelcharakteristik und /oder Rampenfunktion.
Auswahl Kalibrierungskurve (nur Versionen mit analogem Ein-/Ausgang)
Wählen Sie eines von zehn Gasen, und wählen Sie die PID-Einstellungen
im analogen Modus. Erfordert externe Verbindung der Widerstände
zwischen Pin Nr. 13 und Pin Nr. 9.
(Siehe Tabellen 1-2 und 3-1)
Abschnitt 1 Einführung
Brooks
Digitaler MFC's & MFM's
®
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