Inhaltsverzeichnis
Installation und Bedienungs-Handbuch
X-TMF-SLA5800-MFC-ger
Artikel-Nummer: 541B027AAJ
Juni, 2010
1-1 Anwendungsbereich
1-2 Zweck
1-3 Beschreibung
Vielen Dank für den Kauf eines Massedurchflussgeräts von Brooks
Instrument. Dieses Handbuch - X-TMF-SLA5800-MFC-ger - ist eine
Installations- und Bedienungsanleitung für Ihr Gerät.
Wenn Sie ein digitales Massedurchflussgerät von Brooks® mit DeviceNet
Kommunikation gekauft haben, wird auch eine separate DeviceNet
Anleitung als Teil der Dokumentation mitgeliefert.
Die digitalen Produkte von Brooks sind Massedurchflussmessgeräte, die
für die genaue Messung (Massedurchflussmesser) sowie die schnelle
Regelung (Massedurchflussregler) von Gasdurchflüssen ausgelegt sind.
Dieses Handbuch soll dem Anwender alle Informationen liefern, die für die
Installation, den Betrieb und die Wartung der Brooks
Massedurchflussmesser und -regler benötigt werden. Dieses Handbuch ist
in folgende Abschnitte unterteilt.
Abschnitt 1
Einführung
Abschnitt 2
Installation
Abschnitt 3
Betrieb
Abschnitt 4
Wartung und Störungsbeseitigung
Abschnitt A
CE-Bescheinigung
Rückseite
Gewährleistung, Kontaktdaten Vertrieb/Service vor Ort
Es wird empfohlen, dieses Handbuch vollständig durchzulesen, bevor Sie
versuchen, diese digitalen Brooks Produkte zu betreiben oder zu
reparieren.
Die Brooks Instrument SLA5800 Reihe ist ein elastomer-gedichteter,
digitaler thermischer Massedurchflussmesser und -regler, der
unvergleichliche Flexibilität und Leistungsfähigkeit bietet. Der
Massedurchflussregler der SLA5800 Reihe ist für die Verwendung in
modernen Gasanlagen ausgelegt. Das Ergebnis ist ein
Massedurchflussregler mit höchster Genauigkeit, Reprodzierbarkeit und
bestem Ansprechverhalten, der heute auf dem Markt erhältlich ist!
Großer Durchflussbereich
Die SLA5800 Reihe deckt einen äußerst großen Durchflussbereich ab. Mit
Modell SLA5850 kann ein Endwertdurchfluss von nur 3 ml gemessen
werden. Mit einem hohen Messbereichsverhältnis von 50:1 kann ein
Gasdurchfluss hinunter bis auf 0,06 ml präzise gemessen oder geregelt
werden. Mit dem Modell SLA5853 kann ein Gasdurchfluss von bis zu
2.500 ln/min gemessen oder geregelt werden.
Schnelles Ansprechverhalten
Die volldigitale Elektronik und anspruchsvolle mechanische Konfiguration
der SLA5800 Reihe sorgt für ein extrem schnelles Ansprechverhalten. Die
Ausregelzeiten sind mit weniger als einer Sekunde angegeben, aber die
adptive Ventilsteuerung von Brooks kann Ansprechzeiten von 0,2
Sekunden erreichen.
Abschnitt 1 Einführung
Brooks
Digitaler MFC's & MFM's
®
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